在控製無塵淨化車間內部濕度時，如果對濕度（dù）超過55%時，冷（lěng）卻水管壁上會結露，如果發生在精（jīng）密裝置或電路中，就會引（yǐn）起（qǐ）各（gè）種事故。相對濕度在50%時易生鏽（xiù）。此外（wài），濕度太高時（shí）將通過空氣（qì）中的水分子把矽（guī）片表麵粘著的灰塵化學吸附在表麵耐難以清除。相（xiàng）對濕度越高（gāo），粘附的難去掉，但當相對濕度低於30%時，又由於靜（jìng）電力的作用使粒子（zǐ）也容易吸附於表麵，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對於矽（guī）片生產溫度範圍為35—45%。

正常情況下，無塵車（chē）間較（jiào）好的（de）相對濕度應該是控製在30%~45%之間（jiān），允許（xǔ）誤差在±1%的狹窄的範圍內。如（rú）果機械設備（bèi）和生產儀器對濕度的敏感度並不是那麽高，那麽可（kě）以按照人體舒適濕度來控製，人（rén）體的舒適濕度則在40%~60%之間，濕度過高會（huì）使人覺得氣悶（mèn），而濕度低於（yú）30%則會讓人感覺幹燥，皮（pí）膚破裂，呼吸（xī）道不適以及情感上的不（bú）快。

相對濕度在35%到40%之間可以（yǐ）作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間（jiān）一般都使用額外的控製裝置以限製靜電（diàn）荷的積累。很（hěn）多（duō）化學反應的速度，包括腐蝕過程，將（jiāng）隨著相對濕度（dù）的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔淨室周圍空氣中的表麵（miàn）都很快地（dì）被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表麵是由可以與水反應的薄金（jīn）屬塗層組成時，高濕度可以使反應加速。

高濕度實際上減小了無塵車間、潔淨室表麵的靜電荷積累。較低的濕度比較適合電荷的積累（lèi），並（bìng）成為潛在的具有破（pò）壞性的靜電釋放源。當相對濕度（dù）超過50%時（shí），靜電荷開始迅速消散（sàn），但是當相對濕度小於30%時，可以在絕緣體或者（zhě）未接地的表（biǎo）麵上持續存（cún）在（zài）很長一段時間。因此在相對濕度較高的環境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表麵之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與矽質表麵的黏附力。當相對濕度小於50%時並不重要，但（dàn）當相對濕度在70%左右時（shí），就成為顆粒（lì）之間黏附的主要力量。